GROVELEY DETECTION

trillingsdempers

Heeft u zeer nauwkeurige en zeer gevoelige apparatuur, zoals een microscoop, een inspectieapparaat, een beeldvormingssysteem of een polijstmachine en is het gebruik van een actief of passief isolatieplatform onvoldoende? Het kan zijn dat lokale/globale resonanties de prestaties van het isolatiesysteem aantasten, omdat het niet stijf genoeg is of omdat zich op het geïsoleerde onderdeel storingsbronnen bevinden. In dat geval bieden onze Active Damping Devices een oplossing door structurele demping te introduceren in de meeste ongewenste mechanische resonanties. Er kan tot 15% structurele demping worden bereikt, zonder grote inspanningen voor het herontwerp. Vergeleken met passieve dempers is de ADD lichter en niet gevoelig voor veranderingen in de dynamiek van de ondersteunende structuur.Structurele trillingsvermindering van geïsoleerde machines voor prestatieverbetering (microlithografie, microscoop, chipfabricage of inspectiemachines, enz.)